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柱狀多晶硅筒

柱狀多晶硅筒坯體主要用于生產(chǎn)半導(dǎo)體硅部件,其技術(shù)特性是具有均勻、細小晶粒的多<111>晶體結(jié)構(gòu)，質(zhì)地緊密、刻蝕性能好、加工應(yīng)力力小，抗彎強度高，能**限度滿足復(fù)雜結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的加工工藝需求。該產(chǎn)品技術(shù)指標為: 純度>99.9999% （6N，除去硼磷摻雜劑含量），導(dǎo)電類型P型或N型，電阻率1~2.6、0.05~0.01、0.015~0.005Ω·cm范圍內(nèi)可調(diào)控；無隱裂、無氣孔、雜質(zhì)等缺陷。

柱狀多晶筒常規(guī)尺寸為：OD590*ID365*L310mm、OD545*ID345*L310mm，其它規(guī)格尺寸可根據(jù)用戶要求訂制生產(chǎn)。

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