靶材是什么？

 

簡(jiǎn)單地說(shuō)，靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料，通過(guò)更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。

目前，(純度)濺射靶材按照化學(xué)成分不同可分為：

 

1）金屬靶材(純金屬鋁、鈦、銅、鉭等)

 

2）合金靶材(鎳鉻合金、鎳鈷合等)

 

3）陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等)。

 

按開(kāi)關(guān)不同可分為:長(zhǎng)靶、方靶、圓靶。

 

按應(yīng)用領(lǐng)域不同可分為：半導(dǎo)體芯片靶材、平面顯示器靶材、太陽(yáng)能電池靶材、信息存儲(chǔ)靶材、具改性靶材、電子器件靶材、其他靶材。

 

看到這里，大家應(yīng)該了解了高純?yōu)R射靶材，知道了金屬靶材的鋁、鈦、銅、鉭，在半導(dǎo)體晶圓制造中，200mm( 8寸)及以下晶圓制造通常以鋁制程為主，使用的靶材以鋁、鈦元素為主。300mm( 12寸)晶圓制造，多使用先進(jìn)的銅互連技術(shù)，主要使用銅、鉭靶材。

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