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旋轉(zhuǎn)硅靶材為多晶或單晶，其中硅元素含量在99.9999%（6N）以上，相對密度應(yīng)不小于99.5%（以理論密度2.33 g/cm 3 計算）；密度均勻性偏差應(yīng)不大于±0.2%，電阻率范圍為：0.005 Ω·cm～0.05 Ω·cm（可根據(jù)需方要求調(diào)配）

旋轉(zhuǎn)硅靶材表面無裂紋，無崩邊，顏色均勻一致；靶材內(nèi)部無夾雜物、污染物，氣孔直徑不大于 0.1 mm。

外觀尺寸質(zhì)量為：圓度的公差為±0.1 mm，同軸度的公差為±0.1 mm，或根據(jù)需方要求及技術(shù)圖樣加工。

常規(guī)規(guī)格尺寸：直徑為120-300mm，長度單根不大于1500mm,可根據(jù)用戶需求訂制加工。

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