柱狀多晶硅錠

柱狀多晶硅錠坯體主要用于生產(chǎn)硅靶材、半導(dǎo)體硅部件、大尺寸

高溫擴散爐管等產(chǎn)品，其技術(shù)特性是具有均勻、細小晶粒的多<111>晶體結(jié)構(gòu)，質(zhì)地緊密、刻蝕性能好、加工應(yīng)力力小，抗彎強度高，能**限度滿足復(fù)雜結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的加工工藝需求。該產(chǎn)品技術(shù)指標為: 純度>99.9999% （6N，除去硼磷摻雜劑含量），導(dǎo)電類型P型或N型，電阻率1~2.6、0.05~0.01、0.015~0.005Ω·cm范圍內(nèi)可調(diào)控；無隱裂、無氣孔、雜質(zhì)等缺陷。公司已申請獲得兩項專利: 發(fā)明專利“一種硅靶材配料調(diào)節(jié)極性、電阻率測算方法”ZL201610650014.7，實 用 新 型 專 利 “ 細 小 柱 狀 多 晶 硅 靶 材 基 體 的 鑄 錠 制 備 設(shè)備”ZL202220437256.9。產(chǎn)品打破國外技術(shù)壟斷替代進口，在**多家核心半導(dǎo)體硅部件龍頭企業(yè)應(yīng)用多年，應(yīng)用性能良好。

柱狀多晶硅方錠常規(guī)尺寸為：610*610*310mm，其它規(guī)格尺寸可根據(jù)用戶要求訂制生產(chǎn)。

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