常見金屬靶材的種類

常規(guī)金屬靶材:鎂Mg、錳Mn、 鐵Fe、鈷CO、 鎳Ni、銅Cu、 鋅Zn、鉛Pd、 錫Sn、鋁AL

小金屬靶材:銦In、鍺Ge、鎵Ga、銻Sb、鉍Bi、 鎘Cd

難熔金屬靶材:鈦Ti、鋯Zr、鉿Hf、釩V鈮Nb、 鉭Ta、銘Cr. 鉬Mo、鎢W、錸Re

貴金屬靶材:金Au、銀Ag、鈀Pd、鉑Pt. 銥lr、 釕Ru、銠Rh

半金屬靶材:碳C、硼B(yǎng)、碲Te、 硒Se

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