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高創(chuàng)特 —— 專注于半導體系列硅產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售柱狀多晶硅、硅靶材、籽晶、硅擴散爐管、半導體硅都部件
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【寧夏高創(chuàng)特能源科技有限公司】分享:硅片是怎么制造的?

2023-02-21

硅片可分為單晶硅片和多晶硅片。(單晶硅和多晶硅的區(qū)別是,當熔融的單質(zhì)硅凝固時,硅原子以金剛石晶格排列成許多晶核,如果這些晶核長成晶面取向相同的晶粒,則形成單晶硅。如果這些晶核長成晶面取向不同的晶粒,則形成多晶硅,提一嘴:多晶硅可作為生產(chǎn)單晶硅的原料哦~)

多晶硅片:

其由石英砂加工的冶金級硅精煉而來,先被鑄成硅錠,然后切割成片,從而加工成多晶硅硅片。

單晶硅片:

  1. 拉晶,用單晶硅生長爐采用直拉法生產(chǎn)單晶棒

  2. 滾磨,采用外圓磨床滾磨外徑獲得比較精確的硅片直徑;

  3. 切片,使用切割機將晶棒切割成**厚度的薄晶片;

  4. 倒角,采用倒角機增加硅片邊緣機械強度,減少顆粒沾污;

  5. 研磨,使用雙面研磨機,去除硅片表面損傷層并且達到微米級別的平整度

  6. 拋光,使用拋光機將硅片表面達到納米級別的平整度;

  7. 最終檢測,使用檢測設備來檢測成品的尺寸和電學性能等是否達到預期。

  8. 出廠

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