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柱狀多晶硅筒
柱狀多晶硅筒坯體主要用于生產半導體硅部件,其技術特性是具有均勻、細小晶粒的多<111>晶體結構,質地緊密、刻蝕性能好、加工應力力小,抗彎強度高,能**限度滿足復雜結構產品的加工工藝需求。該產品技術指標為: 純度>99.9999% (6N,除去硼磷摻雜劑含量),導電類型P型或N型,電阻率1~2.6、0.05~0.01、0.015~0.005Ω·cm范圍內可調控;無隱裂、無氣孔、雜質等缺陷。
柱狀多晶筒常規(guī)尺寸為:OD590*ID365*L310mm、OD545*ID345*L310mm,其它規(guī)格尺寸可根據用戶要求訂制生產。
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