選擇靶材種類、材質(zhì)和氣體(氮?dú)?、氧氣、乙炔、甲烷、氬氣?,確定靶材及氣體種類,然后調(diào)整氣體比例、用量、濺射功率、濺射時(shí)間、基材處理溫度、濺射溫度、濺射時(shí)間等工藝參數(shù),制備出顏色膜層,廣泛應(yīng)用于裝飾性鍍膜行業(yè).

靶材膜層顏色可調(diào)的PVD鍍膜方法

1、鍍金屬膜層,將待鍍產(chǎn)品傳入裝有金屬靶材的鍍膜腔室,開(kāi)啟泵抽真空及加熱裝置進(jìn)行基底加熱,使得本底真空達(dá)到1×10-3Pa 及達(dá)到80-150℃工藝溫度后,向腔室通入10-1000sccm的氬氣,啟動(dòng)濺射電源,設(shè)置濺射功率1-15KW,鍍膜時(shí)間10-300S,得到厚度為1-100nm的金屬膜層,金屬膜層為銅(Cu)、銀(Ag)、鋁(Al)、鉻(Cr)等金屬膜層,或鎳銅(NiCu)、鎳鉻(NiCr)等合金膜層;

2、鍍低折射率膜層,將鍍完金屬膜層的產(chǎn)品傳入裝有可形成低折射率膜層的靶材鍍膜腔室,加熱達(dá)到80-150℃的工藝溫度,向腔室通入工藝氣體,設(shè)置濺射功率1-15KW,鍍膜時(shí)間1-300S,得到厚度為1-100nm的低折射率膜層,此低折射率膜層為氧化硅、氮化硅等膜層;

3、鍍高折射率膜層,將鍍完低折射率膜層的產(chǎn)品傳入裝有可形成高折射率膜層的靶材鍍膜腔室,加熱達(dá)到80-150℃的工藝溫度,向腔室通入工藝氣體,設(shè)置濺射功率1-15KW,鍍膜時(shí)間1-300S,得到厚度為1-100nm的高折射率膜層,所述高折射率膜層為氧化鈦、氮化鈦、氧化鋯、氮化鋯、氧化鈮、氮化鈮、氧化鋅、氧化銦、氧化鋁、氧化鐵、氧化鉻、氮化鉻等膜層,此高低折射膜層的工藝氣體為Ar、N2、O2中的至少一種,其中Ar氣體流量為10-1000sccm,N2氣體流量為10-1000sccm,O2氣體流量為10-1000sccm;

4、重復(fù)步驟二和步驟三數(shù)次,得到不同顏色的膜層,重復(fù)步驟二和步驟三的次數(shù)為1-100次.

以下是PVD真空鍍膜裝飾薄膜常用材料及其常用氣體制作的各類裝飾顏色涂層:

鋯靶+氮?dú)?黃綠調(diào)金黃色

鋯靶+甲烷:深淺黑色

鋯靶+氧氣:白色、透明膜

鋯靶+氮?dú)?甲烷:金色、仿玫瑰金

鉻靶+甲烷:深淺黑色

鉻靶+氮?dú)?淺黑色

鉻靶+氮?dú)?甲烷:銀灰色

鉻靶+氧氣:輕黃色、紫色、綠色

鉻靶+氧氣:銀色

不銹鋼靶+氧氣:紫色

不銹鋼靶+氮?dú)?藍(lán)色

不銹鋼靶+甲烷:亮黑色

不銹鋼靶+甲烷+氮?dú)?藍(lán)黑色

硅靶+氮?dú)?黑色

硅靶+氧氣:混濁白、透明膜

硅靶+甲烷:黃色、綠色、藍(lán)色、黑色(靶材純度高于99%僅能調(diào)黑色)鈦靶+氧氣:光學(xué)膜七彩截色.

鈦靶+甲烷:深淺黑色( DLC制備不能達(dá)標(biāo))

鈦靶+氮?dú)?仿金色、黃銅色、紫色、紅色

鈦靶+氮?dú)?甲烷:仿玫瑰金、黑綠色、復(fù)古黃、棕色、紫色鎢靶+氮?dú)?棕黃色鎢靶+甲烷:深淺黑色

鎢靶+氧氣:紫色,鮮黃色,棕色,藍(lán)色.

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寧夏高創(chuàng)特能源科技有限公司專注于半導(dǎo)體系列硅產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售，是一家高科技技術(shù)型企業(yè)。公司主要產(chǎn)品包含柱狀多晶硅、硅靶材、籽晶、硅擴(kuò)散爐管、半導(dǎo)體硅部件等。公司以科技創(chuàng)新推動(dòng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展，聚合了多所高校、科研院所先進(jìn)技術(shù)，不斷創(chuàng)新，將硅產(chǎn)品科的研發(fā)生產(chǎn)推向新的制高點(diǎn)。目前已取得質(zhì)量管理、環(huán)境管理、職業(yè)健康安全管理體系三標(biāo)一體認(rèn)證，突破硅材料、硅靶材領(lǐng)域14項(xiàng)專利技術(shù)。多年來(lái)，公司秉承“立德、守信、勤奮、智慧”的經(jīng)營(yíng)管理理念，聚焦客戶，量身定制高匹配產(chǎn)品，持續(xù)提供有競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)品解決方案，歡迎天下有識(shí)之士共創(chuàng)美好未來(lái)。

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